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直读光谱仪的光谱入射光路结构

发布时间:2020-01-10 11:03:14         点击:499

直读光谱仪入射光路

直读光谱仪的入射光路指光谱仪在曝光阶段,将光源激发出来后的光谱光通量全部射入光学室内凹面光栅上。在凹面光栅狭缝扫描时,入射光路输送从汞灯发生的光进入光栅产生Hg的谱线(汞线2536nm),由光电倍增管输出光电流信号再经过放大器放大,用微安表指示出来。当光路采用聚焦透镜直射入射狭缝到达凹面光栅的分光系统时,不用Hg线进行入射狭缝调整,而是采用元素扫描(通常选择基体元素)来校准入射狭缝。

入射光路结构

入射光路除入射狭缝(25m宽)之外还有球面反射镜。它的作用是将两个样品台上激发的光谱亮度全部反射到射狭缝。为了提高紫外光200nm以下元素的反射能力,凹面反射镜表面需涂氟化镁,入射狭缝和球面反射镜装在真空室内。

光路中具有两个反射镜,其中之一是在右样品台激发样品时,使反射镜进入光路,汞灯反射镜退出光路,将激发光亮反射到球面反射镜上。然后进入入射狭缝到达凹面光栅分光。

移动直读光谱仪

移动直读光谱仪

Hg反射镜是供狭缝扫描时用的,当左样品架激发样品时,进曝光阶段,Hg反射镜将退出光路,使左样品架激发光引入球面反射镜,进入入射狭缝到达凹面光栅进行分光。

光路中两个反射镜区域处于非真空状态。对于短紫外线的元素(CPSAsBSn等等)这是一个致命的问题。这个区域中存在氧气、空气、水汽将200nm以下波段的辐射吸收掉。光电直读光谱仪无法分析这些元素的含量。氧对于从130195nm的辐射都有吸收,而在140nm附近吸收最激烈。

创想直读光谱仪对此重新研制了新的光路结构,使得氩气使用的含量变少了,并且使用真空泵来节省氩气的消耗,一般平均一罐氩气可以使用5-6天,而创想采用了这种结构后,氩气的使用大大减少,并且上述致命问题得到解决。

 

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