在半导体工业中，半导体材料表面杂质的污染会对材料的性能产生很大影响,  TXRF全反射X射线荧光分析仪能够对沉积在扁平衬底上的薄近表面层进行无损分析,通过不断地溅射刻蚀亦可以进行深度剖析，与其它发射、吸收法联用可以进行形态分析甚至于能窥见到原子结构，这是TXRF在半导体工业污染控制中的应用。在环境科学中，大气水体、土壤、沉积物等的元素分析，电气、电子设备中有害物质的快速测定( RoHS指令)等均与人类的生活休戚相关。

edx-9000荧光光谱仪

       使用WDXRF波长色散 X 射线荧光比较了在有机肥耕作模式和传统耕作模式下生长的榛子和无花果中部分元素的浓度后发现：有机肥耕作模式下的榛子中Br、Ca、Cl、F、Fe、K、Na、Mg、Mn、P、Rb、Se、Zn的浓度较高，而传统耕作模式下的榛子中所含潜在有害金属Al、Cr、Ni的浓度较高；有机肥耕作模式下的无花果中营养矿物质的浓度更高。

将工业废料进行重复利用而不是掩埋填筑已成为XRF领域的热门课题，机构研究了诸如城市污泥、甘蔗渣、酿造业中的污泥、橄榄油厂的废水、咖啡渣等一系列工业废料后发现：将这些废料与粘土进行混合后制造出的陶瓷砖的热导率比传统方法制造的陶瓷砖的热导率高19%。

       植物修复术是一种利用高等植物对受污环境进行清洁净化的新兴技术，EDXRF适用于大量样本的检测,其性能可与最常用的三维仪器分析技术相媲美；TXRF在制样上与火焰原子吸收光谱法( FAAS)相兼容，与AAS相比,其分析速度更快、更灵敏，可进行多元素分析；微束质子激发XRF虽然造价较高，但是能对组织或细胞水平的样本进行多元素分析。

       在生命科学、医学和药学的应用中，生物细胞和组织中微量元索与生命体健康、疾病的相关性研究,药品质量的监测等均是XRF所涉猎的范围。张一等介绍了SRXRF在生物细胞学中的应用,包括细胞形态及结构、细胞内元素分布等方面的最新进展。Tsuji 等用Gr- Mo作双激发源的共聚焦三维显微XRF仪测定了苋科种子主元素的三维映射影像，每种元素在不同的深度层都有不同的影像；在Au- La能量下，用10 pum的金箔估计出的深度分辨率约为90pum，轻元素的荧光强度通过Cr靶的共聚焦配置可以得到增强。Stephens等430用P-EDXRF研究了植物叶片中的30种无机元素，浓度从干重的百分之几到mg/kg，跨越了5个数量级。Geraki等用XRF和X射线衍射(XRD)相结合研究了乳房肿瘤样本中元素浓度的分布，在肿瘤样本中发现了高浓度的Fe、Cu、Zn、K，与正常组织相比，Zn和K增加明显、Fe和Cu增加不明显，而且4种元素的分布呈现极大的不均匀性,平均值在4% ~ 36%之间波动。关颖等45将XRF和XRD联用，从整体上对阿胶的元素指标和化合态进行了质量控制和鉴别：XRF可对宏量和微量元素的种类和含量进行测定，XRD可对含有晶态物质的伪阿胶进行鉴别。

       在考古和文物保护领域，XRF占据着愈发重要的地位。Froster等研究了影响现场XRF在古陶瓷分析中的一些制约因素，如曲面分析、有机表面涂层、晶粒大小矿物学等,并以土耳其中部出土的多种陶瓷制品为样本，综合考虑上述因素,对古陶瓷进行了地球化学识别,得到了很高的精度和准确度。Valerio 等利用EDXRF对葡萄牙中部出土的后青铜时代的冶金制品(主要是铜锡合金)进行了分析,发现冶金制品中Fe的含量较低,这与前罗马时期伊比利亚半岛某些地区使用坩埚冶炼铜矿石的史实非常相符。Pillay 等48用XRF分析了古陶瓷的组成结构，以此来研究是否能揭示史前的文化交融。

       除上述应用外，XRF亦在食品安全、刑侦法检、艺术品鉴定等领域大放异彩，全面推动着科技的进步、增强着对物质世界的认知、改善着人类生活的条件。